Në rastin e litografisë gjysmëpërçuese (e quajtur edhe fotolitografia) gurët tanë janë silikon meshë dhe modelet tona janë shkruar me një polimer të ndjeshëm ndaj dritës i quajtur fotorezist.
Çfarë kuptoni me fotolitografi?
Fotolitografia, e quajtur edhe litografi optike ose litografi UV, është një proces që përdoret në mikrofabrikimin për të modeluar pjesë në një shtresë të hollë ose në pjesën më të madhe të një nënshtrese (e quajtur gjithashtu vafer). … Kjo metodë mund të krijojë modele jashtëzakonisht të vogla, deri në disa dhjetëra nanometra në madhësi.
Pse përdoret litografia në prodhimin e gjysmëpërçuesve?
Fotolitografia është një proces i përdorur në mikrofabrikimin për të transferuar modele gjeometrike në një film ose substrat. Format dhe modelet gjeometrike në një gjysmëpërçues përbëjnë strukturat komplekse që lejojnë substancat, vetitë elektrike dhe telat të përfundojnë një qark dhe të përmbushin një qëllim teknologjik.
Cili është qëllimi i fotolitografisë?
Fotolitografia është një nga metodat më të rëndësishme dhe më të lehta të mikrofabrikimit, dhe përdoret për të krijuar modele të detajuara në një material. Në këtë metodë, një formë ose model mund të gdhendet përmes ekspozimit selektiv të një polimeri të ndjeshëm ndaj dritës ndaj dritës ultravjollcë.
Çfarë është pajisja e litografisë gjysmëpërçuese?
Pajisja e litografisë gjysmëpërçuese përdoret në fazën e ekspozimit të çipit gjysmëpërçuesprocesi i prodhimit. … Pajisjet e litografisë gjysmëpërçuese përdorin një lente projeksioni për të reduktuar modelin e qarkut, i cili është shkruar në një pllakë origjinale të quajtur rrjetë, dhe e ekspozon modelin në një vaferë.
