Fotolitografia është një proces i përdorur në mikrofabrikim për të transferuar modele gjeometrike në një film ose nënshtresë. Format dhe modelet gjeometrike në një gjysmëpërçues përbëjnë strukturat komplekse që lejojnë substancat, vetitë elektrike dhe telat të përfundojnë një qark dhe të përmbushin një qëllim teknologjik.
Cili është procesi i fotolitografisë?
Fotolitografia, e quajtur gjithashtu litografi optike ose litografi UV, është një proces që përdoret në mikrofabrikim për të modeluar pjesë në një shtresë të hollë ose në pjesën më të madhe të një nënshtrese (e quajtur edhe një vafer). … Në qarqet komplekse të integruara, një vafer CMOS mund të kalojë ciklin fotolitografik deri në 50 herë.
Cili është procesi i mikrofabrikimit?
Mikrofabrikimi është procesi i fabrikimit të strukturave miniaturë të shkallëve mikrometrash dhe më të vogla. … Konceptet dhe parimet kryesore të mikrofabrikimit janë mikrolitografia, dopingu, shtresat e holla, gravurja, ngjitja dhe lustrimi.
Çfarë është procesi i litografisë në gjysmëpërçuesit?
Një sistem litografie gjysmëpërçuese ndërmerr një proces ku modelet e qarkut shumë kompleks të vizatuar në një fotomaskë të bërë nga një pllakë e madhe qelqi reduktohen duke përdorur thjerrëza me performancë ultra të lartë dhe ekspozohen mbi një substrat silikoni të njohur sinjë meshë. …
Çfarë është litografia në procesin e fabrikimit?
Litografia ështëprocesi i transferimit të modeleve të formave gjeometrike në një maskë në një shtresë të hollë të materialit të ndjeshëm ndaj rrezatimit (i quajtur rezistencë) që mbulon sipërfaqen e një vafere gjysmëpërçuese. Figura 5.1 ilustron në mënyrë skematike procesin litografik të përdorur në fabrikimin e IC.
