Në një spërkatje të pabalancuar të Magnetronit, plazma gjithashtu tërhiqet lart në nënshtresën dhe jonet e argonit bombardojnë gjithashtu shtresën e hollë në rritje. … Prania e elektroneve rreth substratit çon në jonizimin e atomeve të gazit neutral dhe depërtimin e plazmës në këtë rajon.
Pse një magnetron spërkat?
Spërkatja e magnetonit përdor një fushë magnetike të mbyllur për të kapur elektronet, duke rritur efikasitetin e procesit fillestar të jonizimit dhe duke krijuar plazmën në presione më të ulëta, duke reduktuar përfshirjen e të dy gazit në sfond në rritje. Humbjet e filmit dhe energjisë në atomin e spërkatur përmes përplasjeve të gazit.
Çfarë mund të aplikohet për spërkatjen me magnetron?
5 Depozitimi me spërkatje të magnetonit. Spërkatja me magnetron është një teknikë e veshjes me vakum me shpejtësi të lartë që lejon depozitimin e shumë llojeve të materialeve, duke përfshirë metalet dhe qeramikën, në po aq lloje materialesh nënshtrese duke përdorur një magnetik të formuar posaçërisht fushë e aplikuar në një objektiv të spërkatjes së diodës.
Çfarë është spërkatja me magnetron të pabalancuar në fushë të mbyllur?
Sistemi i Mbyllur me Magnetron Sputter Jon Plating me fushë të mbyllur, i zhvilluar nga Teer Coatings Ltd, prodhon kushte depozitimi të optimizuara që lejojnë depozitimin e veshjeve të dendura e të forta me ngjitje të shkëlqyer. Marrëveshja CFUBMSIP mbulohet nga patentat e dhëna Teer Coatings Ltd.
Çfarë është magnetroni i pabalancuar?
Magnetronet zakonisht klasifikohen si 'të balancuar' ose 'të pabalancuar'. … Nëse pika zero është afër sipërfaqes së synuar, elektronet mund të ikin më lehtë dhe magnetroni është i pabalancuar. Dizajni i pabalancuar mund të prodhojë bombardim të lartë jonik të shtresës së hollë në të njëjtën kohë me depozitimin.
