Fotolitografia përdor tre hapa bazë të procesit për të transferuar një model nga një maskë në një vaferë: vesh, zhvillo, ekspozo. Modeli transferohet në shtresën sipërfaqësore të vaferës gjatë një procesi pasues. Në disa raste, modeli i rezistencës mund të përdoret gjithashtu për të përcaktuar modelin për një shtresë të hollë të depozituar.
Çfarë është fotolitografia Si funksionon?
Fotolitografia është një proces modelimi në të cilin një polimer fotosensiv ekspozohet në mënyrë selektive ndaj dritës nëpërmjet një maske, duke lënë një imazh latent në polimer që më pas mund të shpërndahet në mënyrë selektive për të dhënë modele qasje në një substrat themelor.
Pse përdoret fotolitografia?
Fotolitografia është një nga metodat më të rëndësishme dhe më të lehta të mikrofabrikimit dhe përdoret për të krijuar modele të detajuara në një material. Në këtë metodë, një formë ose model mund të gdhendet përmes ekspozimit selektiv të një polimeri të ndjeshëm ndaj dritës ndaj dritës ultravjollcë.
Pse përdoret drita UV në fotolitografi?
Fotolitografia lejon kapsulimin 3D të qelizave brenda hidrogeleve duke ndërlidhur parapolimerin që përmban qelizë nën dritën UV. Një fotomaskë përdoret për të marrë modelin e dëshiruar [88].
Cilat janë kërkesat për fotolitografi?
Në përgjithësi, një proces fotolitografik kërkon tre materiale bazë, burim drite, maskë fotografike dhe fotorezistencë. Fotorezist, një material fotosensitiv,ka dy lloje, pozitive dhe negative. Fotorezisti pozitiv bëhet më i tretshëm pas ekspozimit ndaj një burimi drite.
